第469章困境,华富国的请求

两天后。

深市恒远科技半导体研究院。

这个研究院是由恒远科技集团投资成立的半导体研究院，总共占地面积988亩，其内有光刻机、芯片设计、封装技术、先进制造，半导体材料等八个区域，涵盖半导体领域所有关键环节，是整个广省最大的半导体研究基地。

此时，在光刻机研发大楼，一级实验室内数十名科学家正紧张地盯着眼前光刻机试验运行。

“开始吧！”华富国全身裹着防尘服，严肃道。

“是！”

两名科研人员开始操作启动这一台实验原型机。

“嗡嗡——”

光刻机发出细微而沉闷的声音，在启动成功后声音消失，各部件开始工作。

“成功了吗？！”一名头发花白的老科学家满怀期待道。

顿时所有科研人员无不把目光聚焦在流片出口处，脸上都写满了紧张。

这是他们第12次开启2纳米光刻机原型机试验运行了！

为了这一次试验运行，每个人夜以继日地奋斗着。

换组件，修工件台，调整激光光源等等，为了让它能成功运转，所有科研人员都付出了巨大的心血！

每一次试验运行都让他紧张到屏住呼吸！

过了一会儿，机器内的光源闪烁。

“滋滋滋——！”

“滴滴滴！”

机器发出红光警报，流片出口处打开，一片晶圆从里面吐出。

“我的天！又失败了！”操作极其的中年人很是懊恼地喊道。

另一个中年人拿起那一片晶圆，查看一番，叹气道：“华总师，晶圆失败了……”

晶圆刻蚀失败那就意味着这台光刻机试验宣告失败！

“又失败了！第12次了啊！”有人叹气道。

现在数十个科研人员听到这个消息脸上无不露出失落之色。

华富国苦笑一声，“最后一步了啊，最后一步了啊！”

“到底是哪里出了问题？”

“纪老，您觉得是什么原因？”

所有人齐刷刷看向那个满头白发的老人，纪为民，他是比华富国更早一批研究光刻机的专家，也是大夏龙科院院士，在光刻机领域拥有极深厚的基础知识，一辈子岁月都扑在光刻机研究上面，在科学界内德高望重。

他之所以到恒远科技的半导体研究院帮助华富国研发2纳米光刻机，是

。得到广省芯片协会的曹舟和邓高木介绍，当他知道这是一个2纳米制程光刻机项目的时候，毫不犹豫就答应过来帮忙。

“我先去看看。”纪为民颤颤巍巍地走到光刻机面前，仔细检查起来。

“还是激光光源问题呀！”

“193纳米的分子激光光源无法稳定运行！”

“如果不能解决这个部件稳定性的问题就，恐怕就算试验一百次都会是失败的！”

纪为民咳嗽两声，神色失落道。

“可我们都已经换了五个光源方案了啊！怎么还不行呢？”一个戴着厚眼镜片的老科学家问道，他也是经由芯片协会介绍来的行业专家，同时也是激光领域科学家，名叫魏毅。

“老师，会不会是华总师提供的设计方案有问题呢？”魏毅身边一个三十岁出头的男人猜测道。

“卢俊，我们做科研要讲究理性证据，不要有那么多猜测，先把出现问题的控制程序排查一下吧。”魏毅扭头瞪了一他一眼。

卢俊低下头嘀咕几声，“我就只是这么猜测一下而已嘛……”

“不要无端猜测，你啊，改改这个臭毛病。”曾毅训斥道。

“是是，老师说得是，我等会儿就去检查。”卢俊连忙应道。

他之所以这么说，是不想激光光源的问题成为整个项目失败的原因，不想背锅，因为正是他和曾毅还有一批科研人员负责激光光源这部分